2、接通電源，將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10V，然后開機(jī)。

3、調(diào)零，系統(tǒng)在開機(jī)后開路狀態(tài)會自動調(diào)零。

4、連接線路，接好測試線，將測試線將主機(jī)與屏蔽箱連接好，測體積電阻時測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時測試按鈕撥到Rs邊。然后開機(jī)。

5、選擇合適的測量電壓，電壓選擇開關(guān)在后面板，注意，在測試過程中不要隨意改動測量電壓，可能因電壓的過高或電流過大損壞被測試器件或測試儀器;

6、測試：

6.1、選擇測試樣品種類：固體、液體或者粉末。

6.2、選擇固體測量之后，如果測量體積電阻率，在對應(yīng)方框內(nèi)輸入材料厚度，測試結(jié)果可以直接顯示體積電阻和體積電阻率。如果測量表面電阻，不需要輸入表面積參數(shù)，系統(tǒng)能夠直接顯示電阻和表面電阻率。選擇液體和粉末時不需要輸入?yún)?shù)。

6.3、點擊開始測量，測量時從低檔位逐漸拔往，每撥一次稍停留1～2秒以使觀察顯示數(shù)字， 當(dāng)被測電阻大于儀器測量量程時，電阻表顯示“1”，此時應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高的位置，當(dāng)測量儀器有顯示值時應(yīng)停下，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔次即是被測電阻值。當(dāng)有顯示數(shù)字時不要再往更高次檔撥，否測儀器會過量程，機(jī)內(nèi)保護(hù)電路開始工作，儀器測量準(zhǔn)確度會下降。

6.4、測量結(jié)束，點擊實驗結(jié)束。

7、測試完畢將電阻電流量程拔至“104 ”檔，電壓量程調(diào)至10V后關(guān)閉電源，每測量一次均應(yīng)將量程開關(guān)撥回到104“調(diào)零”檔的量程位置以免開機(jī)或測量端短路時而損壞儀器。

8、測量電流及1015Ω以上超高電阻的測量應(yīng)用測量電流后用歐姆定律以電壓除以電流計算電阻的方法，詳見8.5節(jié)內(nèi)容。

9、體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換，在測試過程中，使用屏蔽箱在進(jìn)行體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換時，必須把電源關(guān)閉后進(jìn)行檔位轉(zhuǎn)換，否則會導(dǎo)致電壓沖擊到主機(jī)無法顯示或損壞。